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微波等離子化學(xué)氣相沉積技術(shù)(MPCVD)制造的微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng), 通過(guò)等離子增加前驅(qū)體的反應(yīng)速率,降低反應(yīng)溫度。適合制備面積大、均勻性好、純度高、結(jié)晶形態(tài)好的高質(zhì)量硬質(zhì)薄膜和晶體。
德國(guó)SciDre公司推出的高壓氧氣氛退火爐溫度可達(dá)850°C,壓力可達(dá)150個(gè)大氣壓??捎糜诟邏壕w生長(zhǎng)的料棒前處理。也可用于含氧晶體的高溫退火處理。
德國(guó)SciDre 高溫高壓光學(xué)浮區(qū)爐能夠提供2200–3000℃以上的生長(zhǎng)溫度,晶體生長(zhǎng)腔壓力可達(dá)300Bar,甚至10-5mBar的高真空。適用于生長(zhǎng)各種超導(dǎo)材料單晶,介電和磁性材料單晶,氧化物及金屬間化合物單晶等。
日本 ADVANCE RIKO公司的桌面式超高溫高速退火爐以大功率點(diǎn)聚焦加熱以及超高反射效率可以在10s內(nèi)將15mm×15mm的試樣加熱到1800℃,對(duì)SiC以及其它高熔點(diǎn)材料進(jìn)行退火處理。
美國(guó)Thermal Technology熱壓爐是為同時(shí)需要高溫和高壓的復(fù)雜實(shí)驗(yàn)或研究工作而開發(fā)設(shè)計(jì)的。主要應(yīng)用于粉末材料的稠化、固體部件的擴(kuò)散粘結(jié)、纖維復(fù)合材料的加工等域。
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