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3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機-NanoFrazor Explore的問世,源于IBM蘇黎世研發(fā)中心在納米加工技術(shù)的研究成果。 NanoFrazor 3D納米結(jié)構(gòu)直寫機*次將納米尺度下的3D結(jié)構(gòu)直寫工藝快速化、穩(wěn)定化。通過靜電力準確控制的直寫垂直精度高達2nm,可以將256灰度反映的高度信息精細的轉(zhuǎn)移到直寫介質(zhì)上。
Microwriter ML3小型臺式無掩膜光刻系統(tǒng),具有結(jié)構(gòu)小巧緊湊(70cm X 70cm X 70cm),無掩膜直寫系統(tǒng)的靈活性,還擁有高直寫速度,高分辨率的點。采用集成化設計,全自動控制,可靠性高,操作簡便。適用于各種實驗室桌面。
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