科學(xué)技術(shù)不斷發(fā)展的時代，功能結(jié)構(gòu)的微納米化不僅可以帶來能源與原材料的節(jié)省，同時可以實現(xiàn)多功能的高度集成和生產(chǎn)成本的大大降低。微納米加工技術(shù)主要分為直接加工技術(shù)和圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)。直接加工技術(shù)有激光加工，聚焦離子束(FIB)刻蝕，Local Anodic Oxidation局部陽氧化(基于AFM)，Dip Pen NanoLithography浸蘸筆納米加工刻蝕等； 圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)主要分為三個部分：薄膜沉積，圖形成像（*），圖形轉(zhuǎn)移。作為微納加工工藝的核心，圖形生成工藝可分為三種類型：(1) 平面圖形化工藝，探針圖形化工藝，模型圖形化工藝。平面圖形化工藝的核心是平行成像性，主要包括光刻技術(shù)(掩模，直寫)，電子束曝光(EBL)；(2) 探針圖形化工藝是用高精度探針對樣品或涂層進行逐點掃描成像技術(shù)，具有精度高，部分實現(xiàn)直寫，3D加工等，代表技術(shù)有：熱式掃描探針技術(shù)（NanoFrazor）；(3) 模型圖形化工藝是用微納米尺寸的模具復(fù)制出相應(yīng)的微納米結(jié)構(gòu)，典型工藝是納米壓印技術(shù)(NIL)，還包括模壓和模鑄技術(shù)。

   雖然目前微納加工技術(shù)眾多，但能夠?qū)崿F(xiàn)納米(100nm以下)分辨率的結(jié)構(gòu)加工僅有： 聚焦離子束刻蝕(FIB)，納米壓印技術(shù)(NIL) 和 電子束曝光(EBL)。聚焦離子束刻蝕(FIB) 采用聚焦后的離子束撞擊材料表面并實現(xiàn)去除基體材料的目的，可實現(xiàn)3D納米結(jié)構(gòu)直寫，適用材料廣泛，但加工精度不高；納米壓印NIL采用具有納米微結(jié)構(gòu)的模板將其上的圖形轉(zhuǎn)移到其他材質(zhì)上，效率高，但模板本身需要其他工藝制備，般采用EBL，模板價格昂貴，無法修改圖形，適用于大批量生產(chǎn)；電子束曝光用聚焦電子束將膠體改性，經(jīng)過顯影zui高可實現(xiàn)10 nm精度的加工，是傳統(tǒng)高精度加工的*，但其價格昂貴，操作繁雜，臨近效應(yīng)使得兩個結(jié)構(gòu)無法貼近。

   瑞士Swisslitho公司的 3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機NanoFrazor采用IBM蘇黎世研究中心研發(fā)多年的熱探針掃描刻寫技術(shù)及新型的直寫膠技術(shù)，創(chuàng)新地將基于熱探針的納米結(jié)構(gòu)刻 寫和基于冷探針形貌讀取相結(jié)合，實現(xiàn)高精度3D 納米結(jié)構(gòu)的直寫和實時的形貌探測功能。該技術(shù)創(chuàng)新獲得R&D雜志2015年R&D 00大獎。NanoFrazor憑借其10 nm的加工精度和0.1 nm精度的形貌探測能力，成為納米加工域的技術(shù)。

NanoFrazor技術(shù)點：

NanoFrazor書寫的納米結(jié)構(gòu)欣賞：

3D高速直寫的結(jié)構(gòu)和吉尼斯紀錄	制備在PPA膠和Si基底上的周期性結(jié)構(gòu)
NanoFrazor無臨近效應(yīng)，非常容易制備臨近的納米結(jié)構(gòu)，如蝴蝶結(jié)天線和周期性結(jié)構(gòu)	NanoFrazor可實現(xiàn)納米線，二維材料涂膠后無標記物的定位和形貌觀察，并實施定方向設(shè)計

   實現(xiàn)功能結(jié)構(gòu)微納米化的基礎(chǔ)是進的微納米加工技術(shù)，微納米加工中的更多技術(shù)細節(jié)的改善和化是科研域及儀器設(shè)備廠商不斷追求的技術(shù)方向，NanoFrazor也在不斷嘗試更、更便捷，成為性價比更高的、更具實力的3D直寫設(shè)備。

 
關(guān)于Quantum Design
Quantum Design是*的科研設(shè)備制造商和儀器分銷商，于1982年創(chuàng)建于美國加州圣迭戈。公司生產(chǎn)的 SQUID 磁學(xué)測量系統(tǒng) (MPMS) 和材料綜合物理性質(zhì)測量系統(tǒng) (PPMS) 已經(jīng)成為*的*測量平臺，廣泛的分布于上幾乎所有材料、物理、化學(xué)、納米等研究域的實驗室。2007年，Quantum Design并購了歐洲zui大的儀器分銷商LOT公司，現(xiàn)已成為的科學(xué)儀器域的跨國公司。目前公司擁有分布于英國、美國、法國、德國、巴西、印度，日本和中國等地區(qū)的數(shù)十個分公司和辦事處，業(yè)務(wù)遍及百多個國家和地區(qū)。中國地區(qū)是Quantum Design公司zui活躍的市場，公司在北京、上海和廣州設(shè)有分公司或辦事處。幾十年來，公司與中國的科研和教育域的合作有成效，為中國科研的進步提供了進的設(shè)備以及高質(zhì)量的服務(wù)